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工程案例

微電子行業(yè)45噸每小時edi超純水系統(tǒng)

微電子行業(yè)45噸每小時edi超純水系統(tǒng)

設備型號:MKW-ET45

設計流量:45m3/h

設計進水:雙級RO反滲透純水

EDI模塊:3m3/h*15組

產(chǎn)品水電阻率:大于18兆歐

產(chǎn)品水用途:微電子產(chǎn)品生產(chǎn)

EDI的工作原理
EDI模塊(膜堆)是EDI工作的核心。一個簡單的EDI膜堆主要由兩個電性相反的電極和多個模塊單元對組成,一個膜單元對由一個填滿陽離子和陰離子交換樹脂的淡水室(D-室)、一個陽膜、一個陰膜、一個濃水室(C-室)組成。EDI膜堆包含多個膜單元對。在每個膜堆的內(nèi)部有兩個帶有600V電壓的電極,這是通過每個膜堆必需的電壓。正極帶正電壓,負極帶負電壓,電流在正極和負極之間通過30個膜單元。任一個淡水室都包含著陽樹脂和陰樹脂,它相當于一個8千米厚的混床。一個陽膜朝著陰極的方向把淡水室和濃水室分開,在另外一邊,陰膜也把淡水市和濃水室分開。EDI用的膜和反滲透用的膜很不相同,反滲透用的膜允許小顆粒的分子污染物和離子以及水通過,而EDI膜象離子交換樹脂一樣是用聚苯乙烯材料制作的,只允許帶適當電荷的離子通過,水基本上不能通過。樹脂通過水的分離持續(xù)的再生。
在電場中,給水中的水分子被分離成H+和OH- ,被異性電荷相吸,H+通過陽陽樹脂移向陰極的方向,OH-通過陰樹脂移向陽極的方向。這種H+和OH-的遷移再生了樹脂,陽膜允許H+通過進入濃水室,陰膜允許 OH-通過也進入濃水室,H+和OH-結合生成生產(chǎn)的水。濃水室中自己水的流動將帶走水中的陰陽離子。膜阻止帶相反電荷的離子的進入淡水室在水流通過淡水室的過程中,離子被樹脂去處,所以膜的有效側(淡水室)就會產(chǎn)生純水。
 
EDI超純水設備技術的優(yōu)點
EDI超純水設備被制藥行業(yè)、微電子半導體行業(yè)、發(fā)電行業(yè)和實驗室所普遍接受。在表面清洗、表面涂裝、電解行業(yè)、化工行業(yè)和太陽能光伏行業(yè)的應用也日趨廣泛。
EDI可代替?zhèn)鹘y(tǒng)的混合離子交換技術(MB-DI)生產(chǎn)穩(wěn)定的去離子水。EDI技術與混合離子交換技術相比有以下優(yōu)點:
1.離子交換樹脂的用量少,約相當于傳統(tǒng)離子交換法樹脂用量的5%。
2.離子交換樹脂不需酸,堿化學再生,節(jié)約大量酸、堿和清洗用水,大大降低勞動強度。
3.無廢酸、廢堿液排放,是清潔的生產(chǎn)技術,屬環(huán)保產(chǎn)品。
4.過程易實現(xiàn)自動控制,產(chǎn)水水質穩(wěn)定,與RO等水處理技術相結合,能形成完善的純水、超純水生產(chǎn)線。
5.產(chǎn)水水質高,可達到國家電子級水I級標準,電阻率為15~18MΩ·cm,細菌內(nèi)毒素含量小于0.1mg/L可完全滿 足《中國藥典》《美國藥典》對藥用水的要求。
6.有優(yōu)異的除弱解離物質(如二氧化碳、硅、硼、氨等)地能力,更適用于超純水的需要。
7.純水生產(chǎn)過程連續(xù)進行,無需像離子交換床那樣一套在用一套再生地重復設置

 


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